オキサイドが１６日、半導体後工程向け高パルスエネルギー深紫外レーザを新たに製品化したと発表した。
今回、主力製品である半導体ウエハ欠陥検査用（前工程）に特化した深紫外ピコ秒レーザ「ＱＣＷ Ｋａｌａｍａ」シリーズに、半導体後工程向け高パルスエネルギーモデルを新たなラインナップとして加えて、１７日に発売した。同製品は半導体後工程用途レーザ開発の製品化第一弾で、半導体後工程における微細構造形成や特殊材料の選択的加工など、高精度で低ダメージが求められる微細加工に最適なソリューションとしている。
また、同時に半導体検査向けの主力製品「ＤＵＶレーザ」シリーズにおいて、２６６ｎｍ（ナノメートル）高出力（標準８Ｗ、最大１２Ｗ）モデルと、新たに開発した波長１９３ｎｍレーザを２０２６年より受注を開始することも発表した。
１７日の終値は、前日比９円安の１４２７円。
［ 株式新聞ダイジェスト ］ 提供：ウエルスアドバイザー社
