ニコンは２５日、ＡｒＦ（フッ化アルゴン）スキャナー「ＮＳＲ−Ｓ３３３Ｆ」の受注を１０月から開始すると発表した。
新製品は、最上位機種のＡｒＦ液浸スキャナー「ＮＳＲ−Ｓ６３６Ｅ」のプラットフォームを採用し、ウェハステージおよびレチクルステージの速度を向上させることで、１時間当たり３００枚以上のスループットを実現。加えて、稼働をさらに安定させることで、生産性を従来機種ＡｒＦスキャナー「ＮＳＲ−Ｓ３２２Ｆ」と比較し約１．５倍向上させたとしている。
２６日の終値は、前日比２５．５円安の１７６９円。
［ 株式新聞ダイジェスト ］ 提供：ウエルスアドバイザー社
