リガク・ホールディングスは17日、グループ会社のリガクが、半導体製造工程においてウェーハの膜厚・組成とバンプの高さを測定できる「ONYX(オニキス)3200」の販売を開始したと発表した。
リガクによると同装置はすでに1号機をファウンドリー顧客のパッケージング工程向けに出荷済み。また、すでに世界有数の半導体企業から多数の引き合いがあり、26年は15億円、27年度には同装置単体で30億円の売上達成を目指しているという。
バンプとは、半導体チップを基板へ接続するための、非常に小さな突起。
17日終値は、前日比18円安の1129円。
[ 株式新聞ダイジェスト ] 提供:ウエルスアドバイザー社