オプテックスグループは２０日、１００％子会社のシーシーエスが、画像処理検査において使用する光学ユニットで「微分干渉ユニット」と「瞳分割偏光ユニット」を発売すると発表した。
シーシーエスでは、微細な段差やキズの観察に適した「微分干渉ユニット」と、緩やかなうねり、傾き、反りの観察に適した「瞳分割偏光ユニット」を開発。半導体ウエハーや半導体製造に用いるガラス基板などのさまざまな検査で使用することができるという。
２０日の終値は、前日比５円安の４４５０円。
［ 株式新聞ダイジェスト ］ 提供：ウエルスアドバイザー社
